激光功率傳感器是一種檢測(cè)器,它吸收激光束并輸出與光束功率成比例的信號(hào),通常根據(jù)相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)以定義的精度進(jìn)行校準(zhǔn),并用作激光功率計(jì)的輸入。
要使用的傳感器類型取決于被測(cè)激光束的各種細(xì)節(jié),包括功率水平、光譜區(qū)域、光束大小等。例如,用于測(cè)量從幾微瓦到高達(dá) 100 千瓦或更高功率的傳感器通常基于各種類型的熱探測(cè)器,而基于光電二極管的探測(cè)器通常是低至納瓦或皮瓦的較低功率的選擇。
一、激光熱功率傳感器
熱傳感器具有一系列稱為熱電堆的雙金屬結(jié)。通過(guò)傳感器的徑向或軸向熱流產(chǎn)生的電壓與流經(jīng)熱電堆時(shí)吸收的功率成正比。讀數(shù)不依賴于環(huán)境溫度,因?yàn)橹粶y(cè)量溫差而不是絕對(duì)溫度。熱電堆元件的排列方式使得讀數(shù)幾乎與光束大小和位置無(wú)關(guān)。
二、激光光電二極管傳感器
光電二極管傳感器在很大的光功率水平范圍內(nèi)具有高度的線性度:從幾分之一納瓦到大約 2 mW。高于該光照水平,對(duì)應(yīng)于大約 1 mA 的電流,傳感器飽和并錯(cuò)誤地讀取低值。
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